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可滑動RTP爐OTF-1200X-4-RTP-SL是一種快速熱處理爐,采用紅外燈加熱和移動爐體快速冷卻,可獲得Z高升溫速率為100°C/s 、降溫速率為5°C/s。
1200℃單管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-80SL底部安裝一對滑軌,可手動進行爐體移動,Z高工作溫度達1200°C,加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s。為獲得Z快加熱,可預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置;為獲得Z快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子至另一端,本機是低成本進行快速熱處理的理想設(shè)備。
1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV是專門為在金屬箔表面生長薄膜而設(shè)計的,特別是應(yīng)用在新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。
生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專為生長各種納米線而設(shè)計,基片Z大3″。在法蘭的左側(cè)裝有一個小加熱器,可對輸入的氣體、液體、固體進行預(yù)加熱后進入 CVD 爐進行納米線的生長。其可滑動的樣品架使操作更為簡單。