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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管和真空法蘭,是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大3″)的退火而設(shè)計。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為 50℃/s,設(shè)有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機(jī)上實現(xiàn)實時控制和溫度曲線顯示。
4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管及高真空系統(tǒng)(機(jī)械泵+分子泵), 是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大3″)的退火而設(shè)計。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為50℃/s,設(shè)有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機(jī)上實現(xiàn)實時控制和溫度曲線顯示。
可滑動RTP爐OTF-1200X-4-RTP-SL是一種快速熱處理爐,采用紅外燈加熱和移動爐體快速冷卻,可獲得Z高升溫速率為100°C/s 、降溫速率為5°C/s。
雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機(jī)可通過滑動爐體,實現(xiàn)快速加熱和冷卻。