蒸發(fā)鍍膜儀的真空腔室為蒸發(fā)過程提供必要的真空環(huán)境,以確保膜材料的粒子能夠在沒有空氣干擾的情況下飛至基片表面;真空抽氣泵組用于抽出腔室內(nèi)的氣體,保持高真空狀態(tài),這對于蒸發(fā)過程至關(guān)重要;基片及基片架用于固定和支撐待鍍膜的基片,確保膜材料能夠均勻地沉積在基片上。
監(jiān)測裝置用于實(shí)時監(jiān)控鍍膜過程中的各種參數(shù),如膜厚、速率等,以保證鍍膜質(zhì)量;水冷系統(tǒng)用于冷卻腔室內(nèi)的某些部件,防止在高溫蒸發(fā)過程中過熱,保護(hù)設(shè)備的穩(wěn)定性和使用壽命;它負(fù)責(zé)加熱膜材料并使其蒸發(fā)氣化。蒸發(fā)源的設(shè)計和加熱方式直接影響到膜材料的蒸發(fā)效率和膜層的質(zhì)量和性能;隨著技術(shù)的發(fā)展,加熱膜材料的方式也在不斷改進(jìn),從早期的電阻式加熱發(fā)展到電子束加熱、激光束加熱、感應(yīng)加熱等新方式。
蒸發(fā)鍍膜儀的維護(hù)保養(yǎng)方法:
-內(nèi)部外部清潔:定期對內(nèi)部和外部進(jìn)行清潔,去除灰塵和殘留物,避免影響設(shè)備性能。
-純水和濾網(wǎng)更換:定期更換純水并檢查濾網(wǎng),保證設(shè)備的冷卻系統(tǒng)和過濾系統(tǒng)正常工作。
-氣體泵和閥口清理:定期清理或更換氣體泵、閥口及傳感器等部件,防止因雜質(zhì)堵塞而影響設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)。
-冷卻水流通檢查:定期檢查冷卻水是否正常流通,確保設(shè)備不會因過熱而損壞。
-真空泵和管路檢查:定期檢查真空泵和氣體輸出管路,確保其正常運(yùn)轉(zhuǎn),及時更換損壞的管路。
-泄漏檢查:定期檢查設(shè)備是否有泄漏的危險,確保設(shè)備的安全運(yùn)行。
-嚴(yán)格按要求操作:嚴(yán)格按照設(shè)備要求進(jìn)行停機(jī)和啟動操作,避免不當(dāng)操作對設(shè)備造成損害。
-不輕易啟動設(shè)備:在沒有準(zhǔn)備的情況下,不得輕易啟動設(shè)備,以免造成不必要的機(jī)械磨損或事故。
-使用飽和燒堿溶液擦洗:每完成一定數(shù)量的鍍膜工序后,應(yīng)使用飽和燒堿(NaOH)溶液清洗工作間,以去除附著的鋁等涂膜材料。